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          首頁>E-chuck半導體電子吸盤

          E-chuck半導體電子吸盤

          型號名稱 最大輸出 特征
          電壓(KV) 功率(W)
          聯系方式
          地址:陜西省西咸新區灃西新城西部云谷2期12號樓
          電話:86-029-8844 4525
          86-029-8868 8901
          傳真:86-029-8868 8683
          E-mail:Sales@wismanhv.com

          7.5KV

          15W

          特點和優勢

          通過晶圓傳感器進行可靠性夾持/釋放狀態檢測

          放大器架構設計的快速響應(“無繼電器極性反轉”設計的高可靠性和長壽命。)

          各種卡盤/釋放操作的“雙通道獨立控制(選項)”和“中心抽頭電壓設置(選項)”

          配備LAN、USB、RS-232C數字接口

          內置低通射頻濾波器 (13.56 MHz)


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          2KV

          13W

          提高效率和晶圓吞吐量是普通電源的三倍。 

          減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題;

          控制參數,例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內部或外部振幅/偏移控制;

          調整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性;

          使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出;

          配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。

          可鎖定的前面板控制界面

          支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術

          將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設備,并通過用戶友好的軟件界面存儲在內部

          晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態

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          3KV

          19.5W

          提高效率和吞吐量:普通電源的三倍。 

          減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題;

          控制參數,例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內部或外部振幅/偏移控制;

          調整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性;

          使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出;

          配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。

          可鎖定的前面板控制界面

          支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術

          將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設備,并通過用戶友好的軟件界面存儲在內部

          晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態

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