1KV

3KV

5KV

6KV

8KV

0.1W

0.3W

0.5W

0.6W

0.8W

1. 輸出電壓高達±8KV，功率0.1W-0.8W

2. 可選RS-232,RS-485控制

3. 高壓開啟狀態下快速逆轉極性

4. 最快逆轉時間可選8ms

5. 調節性能出色，紋波低

6. 有電壓電流監視端

7. 本地或遠程控制

8. 電弧和短路保護

9. 可根據用戶要求定制

10.CE認證

1KV

2KV

3KV

4KV

5KV

6KV

8KV

10KV

15KV

20KV

0.1W

0.3W

0.5W

0.6W

0.8W

1W

1.5W

2W

1. 輸出電壓高達±20KV，功率0.1W-2W

2. 可選RS-232,RS-485控制

3. 高壓開啟狀態下快速逆轉極性

4. 最快逆轉時間可選8ms

5. 調節性能出色，紋波低

6. 有電壓電流監視端

7. 本地或遠程控制

8. 電弧和短路保護

9. 可根據用戶要求定制

10. CE認證

5KV

10KV

15KV

20KV

25KV

30KV

10W

1. 輸出電壓高達±30KV，功率5W-10W

2. 可選RS-232,RS-485控制

3. 高壓開啟狀態下快速逆轉極性

4. 最快逆轉時間可選8ms

5. 調節性能出色，紋波低0.001%

6. 有電壓電流監視端

7. 本地或遠程控制

8. 電弧和短路保護

9. 可根據用戶要求定制

1KV

2KV

3KV

5KV

8KV

10KV

15KV

20KV

25KV

30KV

10W

1. 輸出電壓高達±30KV，功率5W-10W

2. 可選RS-232,RS-485控制

3. 高壓開啟狀態下快速逆轉極性

4. 最快逆轉時間可選8ms

5. 調節性能出色，紋波低70mVP-P

6. 有電壓電流監視端

7. 本地或遠程控制

8. 電弧和短路保護

9. 可根據用戶要求定制

5KV

10KV

15KV

20KV

25KV

30KV

5W

6W

8W

10W

1. 封裝可靠，長期無電暈運行

2. 0-±30kv本地或遠程編程

3. 0-300μ本地或遠程編

4. 極性可逆轉，逆轉時間< 1秒在空載下

5. 低儲存能量，電流限制輸出

6. 全功能前面板，理想的實驗室使用

7. 可選USB2.0,RS-232,RS-422控制

8. 可根據用戶要求定制

0.5KV

1KV

2KV

3KV

3.5KV

3.5W

　　PF電源是輸入輸出隔離的高穩定性、低紋波高壓電源，主要用于微通道板和 成像探測器，該電源輸出電壓50V~3.5kV，該輸出電源的輸出端可以懸浮在±2.5kV（PFxxF2.5），±10kV（PFxxF10），±20kV（PFxxF20）及±30kV （PFxxF30）。

　　PF系列采用特殊反饋方式，使控制信號 、監視信號和24Vdc電源在地電位。

0.0075KV

7.5W

11.25W

15W

22.5W

30W

37.5W

　　威思曼高壓電源推出的FF模塊燈絲電源是質譜儀，電子顯微鏡,X射線管，行波管等專用低噪音，高穩定性，小型化輸入輸出多種隔離電壓可選的燈絲電源模塊。價格有優勢。

主要用途：質譜儀、電子槍、離子源、高電壓偏置、X射線管，行波管，科學實驗，工業應用。

　　FF系列是一款懸浮式燈絲電源，輸入輸出隔離電壓有：5KV,10KV,15KV,20KV,25KV,30KV可選，低紋波，超高穩定性，10ppm低溫度漂移,六面屏蔽超低噪聲。有過流、短路、拉弧等保護。

15KV

30KV

9W

典型應用

電子顯微鏡

電子束

金屬3D打印機

真空槍

離子束蝕刻

聚焦離子束光刻

科學實驗

工業應用

30KV

6W

集成加速器和電子源系統電源

低紋波和穩定的輸出

強耐電弧和短路保護

極大限度地減少微放電發生

光隔離數字接口

CE認證

35KV

9W

典型應用

掃描電子顯微鏡SEM

場發射電子顯微鏡FEM

半導體分析，加工和修理

離子束刻蝕

聚焦離子束光刻

紋波2ppm

30KV

6W

小體積電子顯微鏡高壓電源

掃描電子顯微鏡SEM

場發射電子顯微鏡FEM

半導體分析，加工和修理

離子束刻蝕

聚焦離子束光刻

紋波2ppm

30KV

6W

電子顯微鏡高壓電源

掃描電子顯微鏡SEM

場發射電子顯微鏡FEM

半導體分析，加工和修理

離子束刻蝕

聚焦離子束光刻

紋波2ppm

15KV

30KV

35KV

12W

典型應用

掃描電子顯微鏡SEM

場發射電子顯微鏡FEM

半導體分析，加工和修理

離子束刻蝕

聚焦離子束光刻

紋波2ppm

45KV

10W

典型應用

透射掃描電子顯微鏡

掃描電子顯微鏡

半導體分析，加工和修理

離子束刻蝕

聚焦離子束光刻

紋波2ppm

60KV

20W

典型應用

透射掃描電子顯微鏡

掃描電子顯微鏡

半導體分析，加工和修理

離子束刻蝕

聚焦離子束光刻

紋波2ppm

100KV

10W

1.100kV電子束曝光機高壓電源

2.低/高10μA/100μA輸出電流選擇

3.小于70mV的紋波

4.出色的調節和穩定性能

5.無油/固體封裝設計

6.可選USB2.0，網口，RS-232，RS485數字化通訊

7.可根據用戶要求定制

80KV

120KV

200KV

300KV

60W

透射電子顯微鏡電源

只接受定制開發

電壓：80kv,120kv,200kv,300kv

電流：100-300uA

1KV

2KV

2.5KV

3KV

5KV

10KV

15KV

20KV

30KV

5W

10W

20W

1. 輸出電壓達30KV，輸出功率20W

2.低輸出紋波和噪聲小于0.001% P-P

3. 高穩定性每小時25PPM

4. 低溫度系數25PPM每攝氏度

5. 打火保護和短路保護

6. 外部電位器或外部控制電壓給定

7. 可選RS-232,RS-485控制，地址可設置，可尋址

8. 正極性或負極性輸出

9. 體積小，外殼六面屏蔽抗干擾性強

10. 新設計不推薦。請選擇模塊電源PMB系列。

11.通過歐盟CE認證

1KV

2KV

3KV

5KV

10KV

15KV

20KV

6W

9W

15W

30W

60W

75W

100W

1. 輸出電壓高達20KV，輸出功率100W

2. 低輸出紋波和噪聲小于0.1% P-P

3. 高穩定性每8小時0.01%

4. 低溫度系數0.0025%每攝氏度

5. 打火保護和短路保護

6. 外部電位器或外部控制電壓給定

7. 正極性或負極性輸出

8. 體積小，外殼六面屏蔽抗干擾性強

9. 提供OEM定制

10.通過歐盟CE認證

1KV

2KV

2.5KV

3KV

5KV

10KV

15KV

20KV

30KV

5W

10W

20W

1. 輸出電壓高達30KV，輸出功率5W,10W,20W

2. 低輸出紋波和噪聲小于3mV P-P

3. 高穩定性每小時0.001%

4. 低溫度系數25ppm每攝氏度

5. 打火保護和短路保護

6. 外部電位器或外部控制電壓給定

7. 可選RS-232,RS-485控制，地址可設置，可尋址

8. 正極性或負極性輸出

9. 體積小，外殼六面屏蔽抗干擾性強

10. 新設計不推薦

11.通過歐盟CE認證

50KV

300W

● 適合幅寬≤650mm的熔噴布

● N95~N99級別客戶多用

● 輸出電流20mA大電流

●  輸出功率1200W 

●  納秒級保護響應 

●  過壓/過流/過溫/拉弧全保護 

●  輸出電壓0~60kV連續可調

60KV

1200W

●適合幅寬800mm-1600mm的熔噴布

● N99級別客戶多用

●  輸出電壓0~60kV連續可調

● 輸出電流20mA大電流

●  輸出功率1200W 

●  納秒級保護響應 

●  過壓/過流/過溫/拉弧全保護 

100KV

2000W

●適合幅寬1800mm-4800mm的熔噴布

● N99級別客戶多用

●  輸出電壓0~100kV連續可調

● 輸出電流20mA大電流

●  輸出功率2000W 

●  納秒級保護響應 

●  過壓/過流/過溫/拉弧全保護 

0.1KV

0.15KV

0.2KV

0.25KV

0.3KV

0.35KV

0.4KV

0.45KV

0.5KV

0.6KV

0.7KV

0.8KV

0.9KV

1KV

1.2KV

1.5KV

2KV

2.5KV

3KV

4KV

5KV

6KV

8KV

10KV

0.5W

1.25W

1. 可懸浮在另外一個電源上

2. 可同時輸出正負極性

3. 可以很方便的逆轉輸出正負極性

4. 小體積
   

5. 高可靠性、低紋波

6. 輸出電壓與輸入電壓成比例

7. 輸出與輸入隔離（隔離電壓≤500V）

8. 低漏電流

9. 可根據用戶定制
   

0.1KV

0.2KV

0.3KV

0.4KV

0.5KV

2.5W

可懸浮在另外一個電源上

可同時輸出正負極性

可以很方便的逆轉輸出正負極性

小體積、高功率

高可靠性、低紋波

輸出電壓與輸入電壓成比例

輸出與輸入隔離（隔離電壓≤500V）

低漏電流

可根據用戶定制

0.3KV

0.6KV

1.1KV

1.5KV

2KV

2.5KV

3KV

6KV

10KV

15KV

25KV

3W

6W

可懸浮在另外一個電源上

可同時輸出正負極性

可以很方便的逆轉輸出正負極性

體積小，重量輕，輸入輸出成比例

低噪音、高可靠性

輸入輸出隔離（6KV 及以下模塊）

可拆卸的輸入連接端子

7.5KV

15W

特點和優勢

通過晶圓傳感器進行可靠性夾持/釋放狀態檢測

放大器架構設計的快速響應（“無繼電器極性反轉”設計的高可靠性和長壽命。）

各種卡盤/釋放操作的“雙通道獨立控制（選項）”和“中心抽頭電壓設置（選項）”

配備LAN、USB、RS-232C數字接口

內置低通射頻濾波器 (13.56 MHz)

2KV

13W

提高效率和晶圓吞吐量是普通電源的三倍。 

減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題；

控制參數，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內部或外部振幅/偏移控制；

調整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性；

使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出；

配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。

可鎖定的前面板控制界面

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術

將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設備，并通過用戶友好的軟件界面存儲在內部

晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態

3KV

19.5W

提高效率和吞吐量：普通電源的三倍。 

減少背面氣體錯誤、提高吞吐量并消除晶圓粘滯/爆裂問題；

控制參數，例如過電流、存在晶圓和晶圓鉗位閾值、鉗位電壓、偏移電壓和內部或外部振幅/偏移控制；

調整過程中的幅度/偏移和輸出控制的多功能性；

使用后面板 I/O、串行計算機命令或前面板控制來控制輸出；

配置自定義鉗位和去鉗位序列和波形。

可鎖定的前面板控制界面

支持 Coulombic 和 Johnsen-Rahbek ESC 技術

將靜電卡盤配置文件上傳并存儲到設備，并通過用戶友好的軟件界面存儲在內部

晶圓檢測包括無晶圓、存在晶圓或晶圓夾緊狀態

-40KV

400W

1.AC/DC 輸出電壓高達40KV，輸出功率400W

2.紋波電壓： 0.1% P-P 溫度系數：≤25ppm/℃

3.穩定度：開機半小時后每8小時小于100ppm

4.通過歐盟CE認證

5.最大輸出電壓從1KV~-40KV可選擇，最大功率400W

6.2路輸出最大輸出功率400W，可選4路輸出

7.過壓、拉弧和輸出短路保護

8.電壓和電流調節功能

9.本地或遠程遙控控制

10.安全互鎖功能

11.可根據用戶要求定制

12.高穩定性